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  • Raith EBL光刻机隔振方案

    Raith EBL光刻机隔振方案

    ARISMD主动隔振系统/主动式减震台/主动防震台,模块化主动隔振系统,可采用填充式安装方式,适用于大型光刻机、球差透射电子显微镜、EBL电子束曝光机.......


    背景:微电子微纳米加工应用

    使用单位:Infinroe

    设备型号:Raith EBPG5200 Plus

    隔振方案:ARISMD1000 Pro主动隔振系统/主动式减震台/主动防震台



    ARISMD Pro主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统

    紧凑型模块化主动隔振系统,能够抵消影响超高精密设备或工具的振动,多个独立的隔振器可承受高达4000Kg的大型设备负载,安装简易灵活,无需抬高及重新校准。

    主要优势:

     1. 6自由度隔振

     2. 0.5Hz开始隔振有效增益

     3. 可变阻尼

     4. 内置人工智能功能

     5. 主动隔振频率范围可调整

     6. 远程控制

     7. 内置实时诊断工具(频谱分析仪、示波器)

     8. 震动模式(可选)

    应用领域:

     1. 电子显微镜(SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam)

     2. 半导体测试设备(光刻机、晶圆测试仪、电子束曝光机、CD_SEM)

     3. 扫描隧道显微镜/STM、扫描探针显微镜SPM、大型原子力显微镜/AFM

     4. X-Ray、CT、MPI

     ......

    规格参数:

    Model/型号ARISMD300 ProARISMD500 Pro
    Dimensions/规格(mm)
    230x230x75
    230x270x75
    230x230x75
    230x270x75
    Load Capacity(Kg)

    100-300 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

    200-500 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

    Actuaotor Force/制动器力
    Vertical = 150N  ; Horizontal = 75N
    Active Isolation Range/主动隔振频率
    0.5-100Hz
    Architecture/结构
    MVIS - Multi-layer Vibration Isolation Structure/MVIS-多层隔振结构
    Degrees of Freedom/自由度
    6 degrees
    Vibration Isolation Performance/性能
    ~8db gain on 1Hz 

    ~20db gain on 2Hz

    Setting Time/响应时间
    ≤0.1 sec
    Real-Time Diagnostic Tools
    实时诊断工具
    Built-in Real-Time 2 channels Oscilloscope, Real Time 2 channel Spectrum Analyzer
    Real-Time performance adjustment
    实时性能调整工具
    Adaptive Control in ALL 6 degrees of freedom in real-time. Remote Access
    Input Voltage/电压
    AC 80-260V/50-60Hz

      

    粤ICP备18128639号 粤ICP备18128639号
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