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    toone气浮隔振光学平台

    toone气浮隔振光学平台 具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气浮隔振光学平台。

    toone气浮隔振光学平台(科研级)


    应用领域:?

    适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用


    产品特点:?

    ◆公司依托于航空工业人员背景研发制造的具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气浮隔振光学平台。?

    ◆优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。?

    ◆自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国 FESTO 产品,标配进口无油压缩机。?

    ◆台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为 1cr17 优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果, 面板具有M6螺纹孔阵列,易于固定光学元件。?

    ◆隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固稳定。?

    ◆工作压力为?0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。


    技术参数:

    平面度:
    < 0.05mm/m2
    M6螺纹孔/孔间距
    25X25mm
    表面粗糙度
    < 0.8μm
    固有频率
    水平方向:1.0Hz~1.5Hz;垂直方向:1.0Hz~1.5Hz
    减振效率
    水平方向> 5Hz 时:88%~94% ?; 垂直方向<5Hz 时:86%~92%
    水平方向<10Hz时:92%~98% ?; 垂直方向<10Hz时:90%~95%
    振幅
    < 1μm
    重复定位精度
    ±0.05mm
    荷载能力
    800kg/m2


    ?产品型号:(可根据客户要求定制不同尺寸)

    型号

    规格(mm)

    支撑数量

    面板厚度

    台面厚度

    螺纹孔/孔距

    ZI-QF-06-06

    600x600x800

    4

    6mm

    50mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-075-075

    750x750x800

    4

    6mm

    50mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-09-06

    900x600x800

    4

    6mm

    100mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-10-08

    1000x800x800

    4

    6mm

    100mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-12-08

    1200x800x800

    4

    6mm

    100mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-12-09

    1200x900x800

    4

    6mm

    100mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-15-09

    1500x900x800

    4

    6mm

    100mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-16-10

    1600x1000x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-15-12

    1500x1200x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-18-10

    1800x1000x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-18-12

    1800x1200x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-20-10

    2000x1000x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-20-12

    2000x1200x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-24-12

    2400x1200x800

    4

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-30-12

    3000x1200x800

    6

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-30-15

    3000x1500x800

    6

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-35-15

    3500x1500x800

    6

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-40-15

    4000x1500x800

    6

    8mm

    200mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-50-15

    5000x1500x800

    10

    10mm

    300mm

    M6/25X25mm

    ZI-QF-60-15

    6000x1500x800

    12

    10mm

    300mm

    M6/25X25mm

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