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  • ARISMD主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统
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    ARISMD主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统

    ARISMD主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统 紧凑型模块化主动隔振系统,能够抵消影响超高精密设备或工具的振动,多个独立的隔振器可承受高达4000Kg的大型设备负载,安装简易,无需抬高及重新校准。

    ARISMD主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统

    紧凑型模块化主动隔振系统,能够抵消影响超高精密设备或工具的振动,多个独立的隔振器可承受高达4000Kg的大型设备负载,安装简易灵活,无需抬高及重新校准。



    主要优势:

    ?1. 6自由度隔振

    ?2. 0.5Hz开始隔振有效增益

    ?3. 可变阻尼

    ?4. 内置人工智能功能

    ?5. 主动隔振频率范围可调整

    ?6. 远程控制

    ?7. 内置实时诊断工具(频谱分析仪、示波器)

    ?8. 震动模式(可选)


    应用领域:

    ?1. 电子显微镜(SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam)

    ?2. 半导体测试设备(光刻机、晶圆测试仪、电子束曝光机、CD_SEM)

    ?3. 扫描隧道显微镜/STM、扫描探针显微镜SPM、大型原子力显微镜/AFM

    ?4. X-Ray、CT、MPI

    ?......


    规格参数:

    Model/型号ARISMD300ARISMD500ARISMD1000
    Dimensions/规格(mm)
    230x270x75230x270x75
    230x370x75
    Load Capacity(Kg)

    100-300 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

    200-500 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

    500-1000 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

    Actuaotor Force/制动器力
    Vertical = 50N ?; Horizontal = 25N
    Active Isolation Range/主动隔振频率
    0.5-100Hz
    Architecture/结构
    MVIS - Multi-layer Vibration Isolation Structure/MVIS-多层隔振结构
    Degrees of Freedom/自由度
    6 degrees
    Vibration Isolation Performance/性能
    ~8db gain on 1Hz?

    ~20db gain on 2Hz

    Setting Time/响应时间
    ≤0.1 sec
    Real-Time Diagnostic Tools
    实时诊断工具
    Built-in Real-Time 2 channels Oscilloscope, Real Time 2 channel Spectrum Analyzer
    Real-Time performance adjustment
    实时性能调整工具
    Adaptive Control in ALL 6 degrees of freedom in real-time. Remote Access
    Input Voltage/电压
    AC 80-260V/50-60Hz

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